1. 密封系統問題（最常見）

- 釜體與釜蓋的密封件損壞：如硅膠密封圈老化、變形、開裂，或安裝時未放平、夾入異物，導致接口處漏氣。

- 管路及接頭密封不良：真空管路老化、破裂，或接頭（如卡套、活接）未擰緊，存在縫隙。

- 閥門密封失效：真空閥門內部密封圈磨損，或閥門未關閉，導致空氣滲入。

- 攪拌軸密封故障：攪拌軸與釜體的動密封（如機械密封、填料密封）磨損、潤滑不足，出現漏氣。

2. 真空泵相關故障

- 真空泵油不足或污染：真空泵（如旋片泵）油位過低、油質乳化/變質，會降低抽真空效率，甚至無法形成真空。

- 真空泵本身故障：泵內零件（如旋片、轉子）磨損，或電機轉速異常，導致抽氣能力下降。

- 真空泵與反應釜匹配不當：真空泵的極限真空度低于反應釜需求，或抽氣速率不足，無法快速建立高真空。

3. 反應釜本體或物料問題

- 釜體破損：雙層玻璃釜體存在隱性裂痕（尤其是接口處），導致空氣從外部滲入。

- 物料揮發性/透氣性：釜內物料若含大量易揮發組分（如低沸點溶劑），或物料本身透氣性強，會持續釋放氣體，抵消真空泵的抽氣效果。

4. 操作或流程失誤

- 真空系統未檢漏：新安裝或維修后未做檢漏測試，遺漏潛在漏氣點。

- 抽真空順序錯誤：如未先關閉釜體放空閥就啟動真空泵，或未逐步開啟各段閥門，導致空氣倒灌。